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寶德流量傳感器8701系列技術(shù)參數(shù)
點(diǎn)擊次數(shù):1743 更新時(shí)間:2018-10-23

質(zhì)量流量測量儀用于在工藝技術(shù)領(lǐng)域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中,還需要測量溫度和壓力或密度,因?yàn)闅怏w的密度或體積會(huì)因壓力的不同而發(fā)生變化。與之相反,質(zhì)量流量的測量并不受壓力和溫度影響。8701 型數(shù)字式質(zhì)量流量測量儀具有一個(gè)以硅芯片為基礎(chǔ)的傳感器(參見第 2 頁的描述),該傳感器直接處于旁路管道中。通過這種方式可以達(dá)到一個(gè)非常短的設(shè)備反應(yīng)時(shí)間。當(dāng)前流量會(huì)被作為模擬的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出或者通過 RS 通訊輸出??舍槍?duì)兩種不同的氣體對(duì)型號(hào) 8701 進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。根據(jù)用戶要求的不同,在選擇與介質(zhì)相接觸的接頭的材料時(shí)應(yīng)確保,可利用所有的普通工藝氣體運(yùn)行設(shè)備。典型用途是,在檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)、環(huán)境技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、分析結(jié)束中測量氣體流量。

這種傳感器在所謂的CTA中起著熱膜風(fēng)速計(jì)的作用

工作模式(恒溫風(fēng)速表)。要做到這一點(diǎn),兩個(gè)

溫度系數(shù)的電阻器

直接在介質(zhì)流動(dòng)和三個(gè)電阻器位于流動(dòng)的外面是

連接在一起形成一座橋。

氣體流動(dòng)中的個(gè)電阻(RT)

)測量流體溫度,

而第二個(gè),低值電阻(RS)是加熱,以保持它

在一個(gè)固定的,與流體溫度相關(guān)的預(yù)先設(shè)定的超溫。

維持這一溫度所需的加熱電流是一種測量方法

流動(dòng)的氣體所帶走的熱量,代表主熱量

測量。

在MFC內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)?shù)牧髁空{(diào)節(jié)并進(jìn)行校準(zhǔn)

高質(zhì)量的流量標(biāo)準(zhǔn)保證了氣體的每次流動(dòng)質(zhì)量

單元可以從原始信號(hào)中得到,具有較高的精度。

質(zhì)量流量傳感器是根據(jù)熱原理工作的

提供獨(dú)立于它的質(zhì)量流有什么好處嗎

壓力和溫度。

總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個(gè)小的,具體來說

設(shè)計(jì)旁路通道,保證層流條件。

所述傳感器單元是嵌入該流道壁面的芯片。

該芯片由MEMS技術(shù)生產(chǎn),包含一個(gè)加熱電阻和

兩個(gè)溫度傳感器(熱電傳感器)對(duì)稱排列

加熱器的上游和下游。的壓差

熱流計(jì)是通過流量傳感器測量質(zhì)量流量的一種方法。

校準(zhǔn)過程實(shí)現(xiàn)了傳感器的 分配

通過設(shè)備向總流量發(fā)送信號(hào)。

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